對于薄膜沉積控制儀的檢查與維修不是簡簡單單馬馬虎虎就可以完成的，下面來看下
薄膜沉積控制儀的檢修要求：
(1)操縱臺上的所有操縱按鈕、主令開關的手柄、信號燈及儀表護罩都應保持清潔完好。
(2)檢查接觸器、繼電器等電器的觸頭系統吸合是否良好，有無噪聲、卡住或遲滯現象；觸頭接觸面有無燒蝕、毛刺或穴坑；電磁線圈是否過熱；各種彈簧彈力是否適當；滅弧裝置是否完好無損等。
(3)試驗位置開關能否起位置保護作用。
(4)檢查各電器的操動機構是否靈活可靠，有關整定值是否符合要求。
(5)檢查各線路接頭與端子板的連接是否牢靠，各部件之間的連接導線、電纜或保護導線的軟管不得被冷卻液、油污等腐蝕，管接頭處不得產生脫落或散頭等現象。
(6)檢查電氣柜及導線通道的散熱情況是否良好。
(7)檢查各類指示信號裝置和照明裝置是否完好。
以上是關于薄膜沉積控制儀的維修方式介紹。
