薄膜沉積控制儀的輸入端口可采集高低電平、電壓、電流等信號，同時端口還復(fù)用輸出資源，輸出為DOH，3A，可直接驅(qū)動電磁閥，該產(chǎn)品還具有高防護(hù)等級、小體積、高集成度、高響應(yīng)速度等優(yōu)點(diǎn)。在沒有流體流經(jīng)流量管時，流量管由安裝在流量管端部的電磁驅(qū)動線圈驅(qū)動，其振幅小于1mm，頻率約為80Hz，流體流入流量管時被強(qiáng)制接受流量管的上下垂直運(yùn)動。在流量管向上振動的半個周期內(nèi)，流體反抗管子向上運(yùn)動而對流量管施加一個向下的力；反之，流出流量管的流體對流量管施加一個向上的力以反抗管子向下運(yùn)動而使其垂直動量減少。這便導(dǎo)致流量管產(chǎn)生扭曲，在振動的另外半個周期，流量管向下振動，扭曲方向則相反。
由于溫度影響流管鋼性，科氏力產(chǎn)生的扭曲量也將受溫度影響。被測量的流量不斷由變送器調(diào)整，后者隨時檢測粘在流管外表上的鉑電阻溫度計輸出。變送器用一個三相的電阻溫度計電橋放大電路來測量傳感器溫度，放大器的輸出電壓轉(zhuǎn)化成頻率，并由計數(shù)器數(shù)字化后讀入微處理器。每一臺傳感器生產(chǎn)好后振動管本身的質(zhì)量就確定了，薄膜沉積控制儀的振動管中介質(zhì)的質(zhì)量是介質(zhì)密度與振動管體積的乘積，而振動管的體積對每種口徑的傳感器來說是固定的，因此振動頻率直接與密度有相應(yīng)的關(guān)系，那么，對于確定結(jié)構(gòu)和材料的傳感器，介質(zhì)的密度可以通過測量流量管的諧振頻率獲得，抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。
